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molbox RFM
molbox RFM 流量測量主機

功能簡介
molbox RFM 是一個輔助單元,可使用molbloc-L 層流和molbloc-S 聲速流元件進行質量流量測量。

molbloc 流量元件通過兩個壓力連接件和一根數據線連接到molbox RFM 上。molbox RFM 從molbloc EEPROM 讀取校正數據,並利用其內置的高精度參考壓力傳感器(RPT) 測量molbloc 的上游壓力和下游壓力。歐姆測量系統讀取molbloc 鉑電阻測溫儀的電阻,然後由此計算molbloc 溫度。利用存儲在molbox RFM 內存中的molbloc 校正數據、壓力、溫度和氣體屬性,可計算出通過molbloc 的氣流流速。對於molbloc-L 流量元件,在流量量程10% FS 以下時,可以選擇微量程選項來提高流量測量分辨度和精確度。

molbox RFM 和molbloc 流量元件應用廣泛,適用於需要高精確度測量低氣流的測量、測試和校正應用。對於主要考慮結構精密、量程可調性高、成本較低的應用來說,molbox RFM 是理想之選。第二種型號molbox1+ 針對的優先考慮不確定度的應用。要配置質量流量校正系統,請查看隨後幾頁,選擇molbloc 和壓力相關校正,以便更好的覆蓋您的流量量程和壓力狀況。molstic 安裝系統和COMPASS® for molbox 流量校正軟體可以幫您完善系統。
 

詳細資料
  • 結構精密
  • molbloc-L 覆蓋的流量量程從1 sccm 到100 slm,而molbloc-S 覆蓋的流量上限更是達到了5000 slm
  • 從20 種不同的氣體中選擇
  • 利用100:1 可調性實現認證的測量不確定度±0.5% 讀數
  • 內部閥門,可實現內置的清洗、洩漏測試和自重支持
  • 包括求和、取平均值、高值/低值及偏差等高級測量函數
  • 完善的前面板控制以及RS232 和IEEE-488 遠程通信
  • 利用可由用戶設置的參考壓力和溫度狀態,測量質​​量和體積流量
 
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